臭氧（O3）是一种强氧化剂，通过强氧化作用，渗透到微生物的细胞壁，使蛋白变形，破坏酶系统，代谢被破坏而致死，经过臭氧消毒的环境无二次污染，无死角；杀菌速度快，使用时打开发生器20～30分钟，也可进行间隙消毒，一般功率为10～50瓦，消毒体积为20～50立方米。

注意发生器开启时，人不应该在场，一般拔去插头时人才能进入；发生器的质量好坏应进行选择；发生器的元件应定期更换，如能与酒精灯或其他化学消毒剂合用效果更好。